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MEMS气体流量计
来源:西安汐特电子科技有限公司  时间:2012/9/20 10:11:36 点击数:1704  
 

MEMS气体流量计

美新公司拥有一支国际化的专业研发队伍,致力于开拓多种MEMS应用领域。经过长达5年多的潜心研发,美新公司成功开发出专门针对各种气体测量的MEMS流量计系列产品。产品在医疗、燃气、工业气体、钢铁、环保等领域都得到了很好的应用.

产品原理

MEMS气体质量流量计采用具有自主知识产权的MEMS芯片作为传感器核心部件,当没有气体介质流过传感器芯片时,传感器周围保持稳定的温度场(温度分布),当气体介质流过传感器芯片时,温度场因为流体介质带走热量导致局部温度重新分布。局部温度场的变化量取决于流体介质的质量及流速。集成在芯片上的传感器对此温度分布进行测量,通过校准,专门设计的信号处理电路和智能控制软件可精确测量实际的介质质量流量.

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